芯片制造商正在权衡:这些单价近 4 亿美元的设备所带来的速度和精度优势,何时能超过其近乎翻倍的价格 —— 这类设备已是芯片制造厂里最昂贵的装备。
当被问及台积电是否计划在即将推出的 A14 制程及其未来增强版节点中使用该设备时,Kevin Zhang 表示,公司尚未找到令人信服的理由。
他在一场新闻发布会上称:“我所谈到的 A14 增强版,在不使用 High-NA 的情况下也能实现重大突破。因此我们的技术团队正持续探索方法,通过挖掘现有(低数值孔径 EUV 设备)的缩放效益来延长其使用寿命。”
Zhang 补充道:“只要他们能继续找到方法,显然我们就不必使用它。”
不过英特尔也表示,客户仍可选择使用更成熟的旧技术。
在 ASML 上一次财报发布期间,首席执行官克里斯托夫・福凯(Christophe Fouquet)曾表示,预计客户将在 2026 至 2027 年期间对 High-NA 设备进行大批量生产测试,之后才会在最先进制程节点中评估该工具的应用。
去年,Zhang 曾向记者透露,台积电不会在 A16 制程中使用 High-NA 设备,并直言不喜欢其标价。
截至目前,ASML 已向全球三个客户(包括英特尔、台积电和《YB体育下载yb体育下载官网》三星)交付了五台这款重达 180 吨的双层结构设备。
责任编辑:郭明煜
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本报记者 烈祖 【编辑:实源 】